Precision Engineering Research Institute, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China;
Center for Condensed Matter Science and Technology, Department of Physics, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China;
femtosecond laser; single-crystalline silicon; collateral damage; shockwave; thermal effect;
机译:飞秒脉冲激光微加工硅中能量高于激光诱导的损伤阈值的影响
机译:通过等离子体蚀刻辅助飞秒激光加工碳化硅高速和低粗糙度微观线。
机译:沿着曲线的微加工:飞秒激光通过加速光束对金刚石和硅中的弯曲轮廓进行微加工
机译:飞秒激光微加工单晶硅过程中抵押品损伤研究
机译:飞秒激光硅微加工中工艺参数对微形貌的影响。
机译:更正:C.-E. Athanasiou。等。使用飞秒激光制造和操作的用于研究二氧化硅多晶型微力学的整体式微拉伸测试仪。微型机械201561365–1386
机译:沿着曲线的微加工:飞秒激光通过加速光束对金刚石和硅中的弯曲轮廓进行微加工