IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium;
Applied Materials Belgium, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium;
机译:Ni-FUSI栅电极的结晶相对HfSiON MOSFET的偏置温度不稳定性和栅介电击穿的影响
机译:Ni-FUSI栅极中用于NMOS功函数可调性的新型稀土介电中间层
机译:多晶硅厚度对使用原子层沉积镍膜形成Ni-FUSI栅极的影响
机译:CMOS集成RTP要求的双重功函数相控Ni-FUSI(完全硅化)栅极同时在HfSiON上同时硅化nMOS(NiSi)和pMOS(富Ni硅化物)栅极
机译:用于45nm及以后工艺的氧化gate和硅酸ha栅氧化物的工艺开发,表征,瞬态松弛和可靠性研究。
机译:采用氟封端的多晶掺硼金刚石作为pH不敏感溶液门场效应晶体管的全固态pH传感器
机译:用于45nm节点的水浸光学光刻