THE DESIGN AND DEVELOPMENT OF A NOVEL VLSI-CAM SYSTEM

机译：新型VLSI-CAM系统的设计与开发

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This paper reports a novel VLSI Computer Aided Manufacturing(VLSI-CAM) system designed and developed in China. The VLSI-CAM system framework, process model of IC fabrication, the rule for the IC production scheduling and the quality control are discussed in the paper. A few IC factories have adopted the VLSI-CAM system with success.

机译：本文报道了在中国设计和开发的新型VLSI计算机辅助制造（VLSI-CAM）系统。本文讨论了VLSI-CAM系统框架，集成电路制造工艺模型，集成电路生产调度规则和质量控制。一些IC工厂成功采用了VLSI-CAM系统。

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来源
《International conference on solid-state and integrated-circuit technology; 19951024-28; Beijing(CN)》|1995年|P.50|共1页
会议地点 Beijing(CN)
作者
Cailan Xiang; Tianxin Cheng; Quan Zeng; Jianjun Fu; Jian Huang;
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作者单位

Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类半导体集成电路（固体电路）;
关键词

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