Faculty of Engineering, University of Alberta, Edmonton, T6G 2V4, Canada;
MEMS; microfabrication; gyroscope; design;
机译:2D在平面内质量MEMS陀螺仪的拓扑优化
机译:二维MEMS微镜的新型陀螺仪驱动概念
机译:考虑设计变量不确定性的振动MEMS陀螺仪设计
机译:基于非全硅微陀螺仪技术的MEMS微细加工
机译:迈向导航级MEMS陀螺仪的设计,控制和MEMS陀螺仪的错误缓解
机译:微型制造过程驱动的设计有限公司分析和3 DOF驱动模式的系统建模和2-DOF感测模式热稳定的非谐振MEMS陀螺仪
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