Fraunhofer Institute of Integrated Systems and Device Technology, Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, Germany;
Chair of Electron Devices, University Erlangen-Nuremberg, Cauerstrasse 6, 91058 Erlangen, Germany;
Mattson Thermal Products GmbH, Daimlerstrasse;
arsenic diffusion; silicon; arsenic deactivation; flash annealing; spike annealing; arsenic clustering; arsenic segregation; arsenic precipitation;
机译:硅中砷的扩散和活化建模,包括团簇和沉淀
机译:硅中砷的扩散和活化建模,包括团簇和沉淀
机译:含移动砷团簇的砷扩散的原子建模与模拟
机译:硅中砷扩散与激活的建模,包括聚类和沉淀
机译:硅中砷活化和扩散的建模和仿真。
机译:青蛙骨骼肌活化过程中的肌节Ca2 +运动模型,包括ATP Ca2 +结合和扩散。
机译:空位辅助砷扩散和时间依赖的聚类效应 在硅中
机译:高浓度砷的活化和失活,有一些降水迹象。