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ISO 9000: What every microlithographer should know

机译:ISO 9000:每位微光刻师应了解的知识

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摘要

Abstract: This paper begins with an overview of the ISO 9000 quality standards, and then discusses certain topics that are of particular significance for the microelectronics industry. !19
机译:摘要:本文首先概述了ISO 9000质量标准,然后讨论了对微电子行业特别重要的某些主题。 !19

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