FMΔΣ変調方式を用いた新原理の変位/振動センサ

摘要

我々は，高周波動作が可能な新しいA/D 変換方式であるFMΔΣ[1]変換方式を用いた高性能デジタル出力センサの研究を行っている．これまで空洞共振器を用いたマイクロフォンセンサ[2]や共鳴トンネル素子を用いた歪みセンサ[3]を提案してきた．本稿では、この技術の変位/振動センサへの応用について述べる．従来、ダイナミックレンジが高い変位センサとしては、レーザー干渉方式を用いたものが知られている．しかしレーザー干渉方式はサイズが大きくアプリケーションが限られるという問題点があった．本研究で提案する変位/振動センサは、マイクロ波の自由空間共振器を用いたもので、高い性能を小さなサイズで実現可能と考えられる．