基于杠杆原理的新型光纤光栅微位移传感器

摘要

本研究设计了一种新型的光纤布拉格光栅(FBG)微位移传感器。目前，光纤光栅位移传感器的灵敏度仍不是很高，而该结构基于杠杆原理，可通过自由设计不同的力臂长度来满足各种测量要求，因而可以在不损毁光栅的情况下，使光栅产生更加显著的应变。另外，其封装不会产生啁啾，可以通过结构的级联实现传感器的复用来进行多维多参量的测量。实验结果证明，在微测量范围0-0.20mm内，该装置的灵敏度达到12.5nm/mm，较其他梁臂或聚合物封装结构的传感器有很大提高。