発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討

摘要

【はじめに】MEMS (microelectromechanical systems)加速度センサの小型·高分解能化にょリ、移 動体制御や構造物診断など新たな用途の開拓が検討されている(1)。そこで我々は、積層メタル技術に よるAu錘MEMSデバイス(2)と、時間ドメインセンシングによる容量検出回路(3)を用いたMEMS加 速度センサを検討している。今回、MEMSデバイスと容量検出回路をCMOS-MEMS構造としたの で報告する。