微机械加速度计及电容检测电路的设计

摘要

该文讨论一种扭摆式微机械加速度计，介绍其敏感元件的结构，振动模态和数学模型，说明了集成电容检测电路的原理，并对该电路进行了具体设计，利用ＰＳＰＩＣＥ软件进行仿真分析，结果证明完全达到要求，并给出同步解调器电路的形式，为进行版图设计打下基础。