イオン液体液滴の表面張力波を用いたガスセンサ

摘要

イオン液体は、蒸気圧が非常に高く安定しており、ガス吸 着性に優れ、ガスセンサとしての応用が研究されてきた(1-2)。 ガスは表面から吸着されるため、ガス吸着時の表面張力の 変化を用いたガスセンサは時定数が速いことが期待でき る。しかし、イオン液体を用いてガス吸着に伴う表面張力の 変化を用いたガスセンサは研究されていない。光学的な方 法で液滴の表面の表面張力波から表面張力を計測する研究 が行われてきが(3)、小型化することは困難である。そこで、rn本研究ではMEMSプロセスで小型化可能なピエゾセンサ で、イオン液体の液滴の表面張力波を利用したガスセンサ を提案し、ガス吸着を測定することを目的とする。