積層セラミック技術を用いたガスセンサの要素技術開発

摘要

本開発では，現行のガスセンサの課題である，生産時の各 センサの体積ばらつき，一括生産性，そして長期安定性を大 幅に改善したガスセンサを提案し，その基本動作を確認しrnた。