電着ニッケルナノ結晶薄膜の疲労強度に及ぼす微小切欠き形状の影響

摘要

近年，機械部品の小型化，高性能化の観点から，三次元微細構造体からなるMEMS(Micro Electro Mechanical System)が注目されている.MEMSを作製する手段の一つ に金属材料を用いるLIGAプロセスがあり，ニッケルが使 用されることが多い.LIGAプロセスでは電着法で構造体 を造り出す.このときの電着条件を制御することで結晶 組織をナノスケール化することが可能であり，高強度化 が期待できる.しかし，ナノ結晶化による高硬度化に伴 い，材料中に存在する切欠きあるいは欠陥に対して疲労強度が敏感になることが予測される.