EUVA (Extreme Ultraviolet Lithography System Development Association), 1200 Manda Hiratsuka, Kanagawa, 254-8567, Japan;
EUV, laser produced plasma, CO_2 laser, RF-excited; fast axial flow;
机译:高平均功率的EUV光源,用于通过激光产生的等离子体进行下一代光刻
机译:利用磁场的大功率LPP-EUV光源开发进展的最新进展
机译:利用磁场的大功率LPP-EUV光源开发进展的最新进展
机译:用于锡靶LPP EUV光源的高平均电力CO_2激光MOPA系统
机译:基于二极管激光的可调高功率MOPA系统的开发与表征=基于可调谐二极管激光的高性能MOPA系统的开发与表征
机译:高能量和高平均功率飞秒激光系统中与真空压缩机光栅相关的热诱导激光束畸变的研究
机译:EUV(极端紫外线)光源通过激光产生等离子体使用锡通孔靶
机译:用于EUV光刻的高平均功率激光器