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Mechanical variation of plasma potential, electron temperature and plasma density in a multi-dipole RF glow discharge

机译：多偶极射频辉光放电中等离子体电势，电子温度和等离子体密度的机械变化

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来源
《Eleventh international telecommunications energy conference : Conference proceedings》|1989年|p.119|共1页
会议地点 Firenze(IT);Firenze(IT)
作者
Hershkowitz N.;
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作者单位

Universiyt of Wisconsin;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类通信;无线电设备、电信设备;
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