Materials Reliability Division, National Institute of Standards and Technology, Boulder, CO University of Colorado at Boulder, Dept. of Mechanical Engineering, Boulder, CO;
Electromagnetics Division, National Institute of Standards and Technology, Boulder, CO;
Manufacturing Metrology Division, National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD;
MEMS; force sensor; SI traceable; nN;
机译:线性高分辨率BioMEMS力传感器,测量范围大
机译:单轴生物MEMS器件,用于在定量力-位移测量过程中对单细胞响应进行成像
机译:用于定量力位移测量的单轴生物MEMS器件
机译:用于定量测量的MEMS力传感器的设计在纳米至Piconewton范围内
机译:动态范围极限条件下的惯性传感器设计:集成式CMOS-MEMS高g和mu g加速度计。
机译:基于MEMS的三轴导管接触力测量的柔性力传感器
机译:宽范围压力测量MEMS电容压力传感器阵列的设计与仿真
机译:用于剪切和法向力测量的电容传感器的初步设计和分析