Department of Electrical Engineering and Computer Science Case Western Reserve University Cleveland, Ohio 44106;
silicon carbide; MEMS; NEMS; epitaxial growth; low pressure chemical vapor deposition; surface micromachining; bulk micromachining;
机译:用于电容微和纳机电系统表征的多功能仪器
机译:微纳机电系统建模与控制技术综述
机译:使用微和纳米机电系统的毫米波功率感测
机译:碳化硅微机械和纳米机电系统
机译:通过低压化学气相沉积的碳化硅薄膜,用于微和纳米机电系统。
机译:附有硅的悬浮石墨烯膜证明质量作为压阻纳米机电系统加速度计
机译:单晶碳化硅纳米机电系统
机译:用于纳米机电系统应用的纳米多孔碳化硅