Forschungszentrum Karlsruhe, Institut fuer Mikeostrukturtechnik P.O. Box 3640, D-76021 Karlsruhe, Germany;
hybrid; chromatic; confocal; diffractive; microoptical bench; distance sensor;
机译:使用具有彩色共焦探针的机器计量系统对超精密机床的10 nm运动误差补偿的试验
机译:中国微光学计量
机译:通过评估轴向共焦响应来表征微光学阵列
机译:用于精密计量的共聚焦微光学距离传感器
机译:高密度低精度和低密度高精度数据的融合在坐标计量中
机译:通过检测具有偏置弱测量的光子来提高光学计量的精度
机译:使用具有彩色共焦探针的机器计量系统对超精密机床的10nm运动误差补偿的试验