Metrology of refractive microlens arrays

机译：折射微透镜阵列的计量

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

The metrology of refractive microlens arrays is analyzed using Twyman-Green, Mach-Zehnder, and white light interferometers. The advantages and limitations of each are discussed in their application to the measurement of spherical and aspherical microlens arrays.

机译：使用Twyman-Green，Mach-Zehnder和白光干涉仪对屈光微透镜阵列的计量进行了分析。在将它们应用于球面和非球面微透镜阵列的测量中，讨论了它们各自的优缺点。

著录项

来源
《Conference on Optical Micro- and Nanometrology in Manufacturing Technology; 20040429-20040430; Strasbourg; FR》|2004年|P.43-51|共9页
会议地点 Strasbourg(FR)
作者
Kenneth J. Weible; Reinhard Voelkel; Martin Eisner; Samuel Hoffmann; Toralf Scharf; Hans Peter Herzig;
展开▼
作者单位

SUSS MicroOptics SA, Jaquet-Droz 7, CH-2007 Neuchatel, Switzerland;

展开▼
会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类机械计算;
关键词
microlens arrays; micro-optics; aspheres; interferometers; metrology;

机译：微透镜阵列;微光学;非球面镜;干涉仪;计量学;
入库时间 2022-08-26 14:12:24

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Fabrication of refractive silicon microlens array with a large focal number and accurate lens profile [J] . Zhou Xiaojun, Song Aiguo, Wang Shuai, Microsystem technologies . 2020,第4期

机译：具有大型焦点数和精确镜片轮廓的折射硅微透镜阵列的制造
2. Active Refractive and Diffractive Liquid-Crystal Microlens Arrays Enabled by Two-Photon Polymerization [J] . Ziqian He, Yun-Han Lee, Ran Chen, SID International Symposium: Digest of Technology Papers . 2019,第2期

机译：由双光子聚合使活性折射和衍射液晶微透镜阵列
3. Electrochemical Fabrication of Flat, Polymer-Embedded Porous Silicon 1D Gradient Refractive Index Microlens Arrays [J] . Neil A. Krueger, Aaron L. Holsteen, Qiujie Zhao, Physica status solidi . 2018,第13期

机译：平坦的，聚合物包埋的多孔硅一维梯度折射率微透镜阵列的电化学制备。
4. METROLOGY TECHNIQUES FOR REFRACTIVE MICROLENSES AND MICROLENS ARRAY MANUFACTURING [C] . Myun-Sik Kim, Lisa Allegre, Jonathan Sunarjo, Microoptics Conference . 2015

机译：折射微透镜和微透镜阵列制造的计量技术
5. Modeling of the Micro-Indentation Process to Create Microlens Array Features on a Mold [D] . Gundyal, Sumit Anand. 2019

机译：微压缩过程的建模，以在模具上创建微透镜阵列特征
6. Quasi-periodic concave microlens array for liquid refractive index sensing fabricated by femtosecond laser assisted with chemical etching [O] . F. Zhang, C. Wang, K. Yin, -1

机译：飞秒激光辅助化学刻蚀制造的用于液体折射率传感的准周期凹微透镜阵列
7. Quasi-periodic concave microlens array for liquid refractive index sensing fabricated by femtosecond laser assisted with chemical etching [O] . F. Zhang, C. Wang, K. Yin, 2018

机译：用于液体折射率检测的准周期凹微透镜阵列，由Femtosecond激光辅助化学蚀刻
8. Dry Etching for Coherent Refractive Microlens Arrays [R] . Stern, M. B., Jay, T. R. 1994

机译：用于相干折射微透镜阵列的干蚀刻

Metrology of refractive microlens arrays

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅