Air Force Institute of Technology, Wright Patterson Air Force Base, OH 45433;
Air Force Institute of Technology, Wright Patterson Air Force Base, OH 45433;
Air Force Institute of Technology, Wright Patterson Air Force Base, OH 45433;
AFRL, Wright Patterson;
MOEMS; optical shutters; actuators; electrostatics; thermal actuation;
机译:用于护理点应用的热驱动的微流体膜瓣膜
机译:MOEMS传感器具有用于倾斜传感器示例的静态位移测量应用的非线性传递特性
机译:用于MOEMS应用的双向静电梳状驱动X-Y微型位移台
机译:用于MoEMS应用的热驱动的微快门
机译:无光掩模光刻的热驱动微快门阵列器件
机译:二维扫描微镜及其在MOEMS目标探测器中的应用
机译:用于护理点应用的热驱动的微流体膜瓣膜
机译:用于空间应用的磁致氮化硅微型快门的结构分析