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英文文摘
第1章绪论
§1.1加速度传感器概述
§1.1.1加速度传感器的测量原理
§1.1.2加速度传感器的发展
§1.2 MEMS加速度传感器
§1.2.1微机械加速度传感器的发展
§1.2.2典型的微机械加速度传感器
§1.3 MOEMS与MOEMS加速度传感器
§1.3.1 MOEMS的基本概念
§1.3.2目前MOEMS加速度传感器的研究状况
§1.4本文主要研究内容
§1.4.1课题背景
§1.4.2研究目标与主要工作
参考文献
第2章 微纳光纤环形谐振腔传输理论及特性研究
§2.1亚微米直径微光纤的传输理论
§2.1.1光在亚微米直径的微光纤中的传输理论
§2.1.2微纳光纤的单模传输条件
§2.1.3单模传输条件下微光纤中的基模能量分布
§2.1.4微纳光纤传输中的群速和色散
§2.2亚微米直径微光纤的拉制及特性分析
§2.2.1亚微米直径微光纤的拉制
§2.2.2拉制完成的微光纤的传输损耗和抗拉强度分析
§2.3微纳光纤环形谐振腔的传输光谱特性
§2.3.1基本方程和传输谱分析
§2.3.2微光纤环形谐振腔的品质因素和精细度
§2.3.3微光纤环形谐振腔的耦合系数对品质因素的影响
§2.3.4传播空间的相对折射率对品质因素Q的影响
§2.4本章小结
参考文献
第3章 微光纤环形谐振腔的加速度传感理论
§3.1微光纤环形谐振腔加速度传感原理
§3.1.1微光纤环形谐振腔加速度传感理论
§3.1.2 MOEMS传感结构灵敏度和动态范围分析
§3.2微光纤环测量加速度的信号探测方法
§3.2.1加速度传感器输出光谱检测
§3.2.2加速度传感器输出光强检测
§3.4本章小结
参考文献
第4章MEMS传感结构设计与加工工艺研究
§4.1 MEMS加速度传感器的设计理论
§4.2 MEMS加速度传感器输出信号的信息组成
§4.2.1简化的力学模型和动力学方程
§4.2.2加速度传感器激励信号分析
§4.2.3加速度传感器输出信号所包含的加速度信息
§4.3微加速度传感器的主要性能指标以及测试方法
§4.4传感系统微结构设计和仿真分析
§4.4.1有限元方法概述
§4.4.2传感结构的选择和参数设计
§4.4.3传感结构的有限元分析结果
§4.5 MEMS传感结构的制作工艺研究
§4.5.1选材和刻蚀工艺设计
§4.5.2体硅湿法刻蚀工艺研究
§4.5.3加工结果分析
§4.6本章小结
参考文献
第5章 MOEMS加速度传感器制作与实验研究
§5.1微光纤环形谐振腔与MEMS传感结构的粘接
§5.1.1制作微光纤环的微操作系统
§5.1.2微光纤环与MEMS传感结构粘接的微操作
§5.2 MOEMS加速度传感器输出光谱的测量
§5.2.1 MOEMS加速度传感器的输出光谱分析
§5.2.2微光纤环形谐振腔输出光谱的实测结果
§5.3 MOEMS加速度传感器模拟高g值输出光谱的测量
§5.4 MOEMS加速度传感器重力场翻转的输出光强测量
§5.5 MOEMS加速度传感器输出光强的低频动态响应
§5.6 MOEMS加速度传感器温度效应的测试
§5.7微光纤环形谐振腔的温度噪声分析
§5.8 MOEMS加速度传感器的其它主要噪声分析
§5.8.1机械结构噪声(布朗Brownain噪声)
§5.8.2随机振动的噪声
§5.8.3吸附与解吸附噪声的影响
§5.9本章小结
参考文献
第6章 总结与展望
§6.1论文总结
§6.2未来工作和应用前景展望
攻读学位期间发表的学术论文
致谢