Department of Power Mechanical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, TAIWAN 300, Republic of China;
MOEMS; reflective elements; focusing micromirrors; thermal actuator; micro bilayer structure;
机译:用于反射光调制的微加工薄膜镜阵列
机译:面向输入/输出耦合器的微机械(111)取向硅镜的光学反射率
机译:多通道微加工膜可变形反射镜实现无像差动态聚焦
机译:使用无缝反射表面的微机械聚焦镜的制造
机译:使用表面补偿镜和分段环形相控阵时,对盘锻件进行超声波检查的聚焦像差校正。
机译:通过纳秒激光表面纹理制备具有超疏水性/高疏化性的抗反射表面和提高机械耐久性
机译:超X射线纳米聚焦纳米聚焦的超薄椭圆镜的制造及聚焦性能评价