CEA/DRT ― LETI/DTS, 17 Avenue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 09, France;
adaptive optics; MEMS; MOEMS; deformable mirror; electrostatic actuator;
机译:本征模在基于微机械膜变形镜的自适应光学系统中的应用
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机译:用于自适应光学的微机械可变形反射镜
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