The Development of an Ultra-precision Dual-stage Based on a Master-Slave Control System

机译：基于主从控制系统的超精密双级系统的开发

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A ultra-precision dual-stage based on a master-slave control mode is presented to meet the demand for nanometer level accuracy in this paper. The dual-stage is constructed with a linear motor and a Lorentz motor. By adopting the air bearing, both linear motor and Lorentz motor are regarded as a double differential system respectively. The coupling system of two stages has been decoupled. The "PID + feedforward" control structure is adopted. Nanometer level positioning accuracy and high moving speed are achieved. The experimental results are provided.

机译：为了满足纳米级精度的需求，提出了一种基于主从控制模式的超精密双级。双级由线性电动机和洛伦兹电动机构成。通过采用空气轴承，直线电动机和洛伦兹电动机都分别被视为双差动系统。两个阶段的耦合系统已解耦。采用“ PID +前馈”控制结构。实现了纳米级定位精度和高移动速度。提供了实验结果。

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来源
《Computer Distributed Control and Intelligent Environmental Monitoring (CDCIEM), 2012 International Conference on》|2012年|p.727- 730|共4页
会议地点 Zhangjiajie(CN)
作者
Bo-jie Hou;
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作者单位

Sch. of Mech. Eng., Zhengzhou Univ., Zhengzhou, China;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类计算机的应用;
关键词

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