ウォールレス型クリーンブースの開発 その 2 クリーンブースの性能検証

摘要

1) 柱周りに遮風板を設置し外部空気侵入を防止することで、エアカーテン部の吹き出し条件を緩和できることがわかり、4 面開口の場合32%程度消費電力を低減できる。2) ブース内部に装置等の機器を設置しても清浄度は確保できる。3) 今回は柱周りの遮風板設置による対策効果の検討を実施したが、引き続き対策検討を実施し、より低コスト化、省エネルギー化を図る予定である。