フレキシブル基板上の薄膜のX線反射率測定: 簡便かつ再現性の高い試料固定法とその活用

摘要

折りたためる'卷けるディスプレイ、電子ペーパーなどへの期待や要望は益々高まっており、 フレキシブルエレクトロ二タスの研究は重要性を增している。ポリエチレンテレフタレート(PET)などの薄くて曲げられるプラスチックフィルムの上に有機•無機の薄膜を作製する技術 は重要な基盤技術の一つであり、素子の高性能化•高機能化のために薄膜•積層膜の膜厚、密度、 表面•界面のラフネスを高い精度で評価することが求められている。さらに、薄膜作製プロセス の開発や条件出しなどの過程では、かなりの数のサンプルの構造評価を短時間で行うことが必要 であり、測定のための試料準備ゃセットアップを短時間で行う技術は必要不可欠である。