電子ビーム技術におけるブレークスルーと新しい応用分野

摘要

Field emission displayの撤退以降、暫く研究者人口が落ち込んでいた電子ビーム技術である が、地道な研究の結果、近年いくつかのブレークスルーを起こすことができ、再び注目を集めて いる。本講演は、シンポジウムのIntroduction的な役割で、電子ビーム技術の最近のブレークス ルーと新しい応用分野にっレ、て概説する。詳細は、本シンポジゥムの各講演を参照されたい。