レーザー光還元法によるフレキシブルなメタルメッシュ透明電極の開発

摘要

本研究目的は，レーザー光還元法によるフレキシブルかつ肉眼で不可視なサブミクロン線幅の配線を有するメタルメッシュ透明電極の開発である．メタルメッシュ透明電極は，透明基板に対するメッシュ開口率80%以上の確保による光透過性と，透明基板一面のメタルメッシュ化による導電性を兼ね備える．一般的な金属微細構造は等倍露光によるフォトリソグラフィやプリンティング技術[2]により作製されるが，サブミクロン分解能を有さない．我々は，サブミクロンの金属微細構造作製手法としてレーザー光還元法に着目した．金属イオン含有ポリマーにレーザー光を集光照射すると，焦点域にて金属イオンが還元されサブミクロンサイズの金属が析出する．我々は，耐熱・耐薬性に優れ，様々なフレキシブルデバイスに応用されている透明ポリイミドに着目し，レーザー光還元法により透明ポリイミドにサブミクロン線幅の金属構造を直接描画する技術を開発した(Fig. 1)．