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走査型イオン伝導顕微鏡を用いた金コロイドナノ粒子の堆積による マイクロピラーの作製

机译:通过使用扫描离子传导显微镜沉积金胶体纳米颗粒来制造微柱

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摘要

近年,微細立体構造作製技術は微細デバィスの作製などの幅広レ·分野で関心が高レ·技術である·従来の微細加工法として,フォトリソグラフィーゃ集束イオンビームを用いた立体造形法が報告されているが,これらは多くの生産工程や真空環境を要することから,装置·設備が高価という問題がある.
机译:近年来,精细的三维结构制造技术在诸如精细器件的制造的广泛领域中受到高度关注,作为常规的精细处理方法,已经报道了使用聚焦离子束的光刻或三维建模方法。然而,由于这些需要许多生产过程和真空环境,因此存在设备和设施昂贵的问题。

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