STEM-TES-EDSシステムによるX線エネルギースペクトル測定

摘要

近年、複雑な組織・組成を持つ鉄鋼などの実用材料開発において、ナノ領域の構造分析や組成分析への要求が高まっている。そのため、分析型電子顕微鏡では、特性X線のエネルギー分散型分光計測（EDS）による元素組成分析の精度向上が求められている。そこで我々は、走査透過型電子顕微鏡（STEM）に超伝導 X 線検出器（Transition Edge Sensor：TES）を搭載したシステム（STEM-TES-EDSシステム）を開発している。本システムでは、5 kcpsの計数率、0.15 - 15 keVのエネルギー域で10 eVのエネルギー分解能を目標としている。