多結晶シリコンPL 像中の転位領域の多層パーセプトロンによる推定

摘要

多結晶シリコン太陽電池では，転位クラスターが大きな変換効率の低下要因である．研究グループでは，多結晶組織制御による転位クラスターの低減に向けて，インゴット内の転位クラスターの3 次元分布の可視化を研究している．これまでに，一つのシリコンインゴットから切り出された多数のシリコンウェハのＰＬイメージから，各ウェハ内の転位位置をフィルタ処理によって特定し，隣接したウェハの転位領域の接続から3D 構造として，転位領域を可視化[1] することを行なっている．一方，フィルタ処理によらず，ウェハ画像を画像特徴の重み付け和として表し，再構成画像の誤差の大きい領域を転位領域と推定する手法[2] を検討している．