過電流検知用TSV構造MEMS ロゴスキーコイル

摘要

太陽光発電等に用いられる産業用パワーコンディショナは、過酷な環境での稼働、長期間使用により過電流による故障が想定されるが、事故防止のためには早急な異常検知、復旧が必要である。本研究では、ノくヮーデバイスごとの過電流検知が可能なTSV (Through-Silicon-Via)構造のMEMS ロゴスキーコイルを作製した。