三フッ化塩素を用いたSiCエピリアクタクリーニングにおける酸化イットリウム膜による石英ガラス保護効果

摘要

炭化珪素(SiC)エピタキシャル成長装置のクリーニング技術を開発するため、三フッ化塩素(ClF_3)ガスを用いた研究を進めている。そのためには、三フッ化塩素ガスによる腐食に耐えるリアクタ部材を見出すことが課題である。本研究では、様々な装置の耐腐食性保護膜として用いられている酸化イットリウムの三フッ化塩素に対する耐腐食性を調査し、石英ガラスフランジの保護膜に用いた結果[2]について、詳細を報告する。