最適加工条件探索のためのパラメータ可変高出力フェムト秒ファイバーレーザーシステム

摘要

高品位高効率なレーザー加工を実現するためには、対象材料や加工形状に応じたレーザーの最適なパラメータを効率的に探索することが重要となる。そのためには各種パラメータを自動可変制御できるレーザーシステムが必要となる。本研究では、照射パルスのエネルギー・パルス幅及びバーストパルス数を自動可変制御できる高出力ファイバーレーザーシステムを開発した。特にパルス幅については、熱的・非熱的加工の境界領域を探るためにフェムト秒～ピコ秒領域をカバーする可変域を設定した。また、高スループットの現実的な加工条件にも対応できるように、平均出力100 Wを超える高出力化を行った。