Asahi Glass Co., Ltd. Research Center, 1150 Hazawa, Yokohama 221-8755, JAPAN;
low-k dielectrics; interconnect; passivation; processing;
机译:PVDF-MgTiO3聚合物 - 陶瓷复合材料的合成与评价Low-K介电应用
机译:用于需要低k电介质的聚合物的分子建模和合成
机译:低k介电表面的化学处理,用于微电子应用中的固体薄膜构图
机译:用于RF应用的先进的低k聚合物电介质平台
机译:用于高级互连的多孔低k电介质的机械可靠性:多孔低k电介质的不稳定性机理及其通过惰性等离子体引发的骨架结构再聚合的介导研究。
机译:用于微和纳米电子应用的低k介电薄膜的热稳定性的宽带介电光谱表征
机译:具有低k /高k双层栅极电介质的高性能溶液处理低压聚合物薄膜晶体管