AZ Electronic Materials, 70 Meister Avenue, Somerville, NJ 08876;
hybrid copolymer; 193 resist compositions; methacrylate; cycloolefin-maleic anhydride;
机译:基于环烯烃马来酸酐聚合物的新型193nm单层抗蚀剂
机译:用于193 NM成像的环烯烃马来酸酐交替共聚物的合成。
机译:基于聚降冰片烯/马来酸酐/丙烯酸/丙烯酸叔丁酯的单层193 nm抗蚀剂中使用的基础添加剂的研究
机译:用于193 nm抗蚀剂组合物的新型环烯烃/马来酸酐(COMA)/甲基丙烯酸酯杂化共聚物
机译:由可再生资源合成衣梳状共聚物:衣康酸酐,甲基丙烯酸十八烷基酯和乳酸。
机译:苯乙烯-马来酸酐共聚物相容的聚酰胺66 /聚(苯醚)共混物的性能:马来酸酐浓度和共聚物含量的影响
机译:基于环烯烃马来酸酐聚合物的新的193nm单层抗蚀剂。
机译:改性马来酸酐共聚物作为电子束抗蚀剂。