首页> 外文会议>Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 2009. ASMC '09 >Contamination induced risk reduction through improved control plan implementation
【24h】

Contamination induced risk reduction through improved control plan implementation

机译:通过改进控制计划的实施,减少污染引起的风险

获取原文

摘要

Background and details on an optimized control plan for metal contamination monitoring have been described. It must be emphasized that this control plan can only be defined and sustained through close interaction of R&D, Metrology, Process control and Production people.
机译:已经描述了用于金属污染监测的优化控制计划的背景和细节。必须强调的是,只有通过研发,计量,过程控制和生产人员的密切互动,才能定义和维持该控制计划。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号