Groupe de physique des plasmas, Universite de Montreal, C.P.6128, Succ.Centre-ville, Montreal, Quebec, Canada H3C 3J7;
Groupe de physique des plasmas, Universite de Montreal, C.P.6128, Succ.Centre-ville, Montreal, Quebec, Canada H3C 3J7;
Groupe de physique des plasmas, Universite de Montreal, C.P.6128, Succ.Centre-ville, Montreal, Quebec, Canada H3C 3J7;
Groupe de physique des plasmas, Universite de Montreal, C.P.6128, Succ.Centre-ville, Montreal, Quebec, Canada H3C 3J7;
INRS-Energie, Materiaux et Telecommunications, 1650 Boul.Lionel-Boulet, Varennes, Quebec, Canada J3X 1S2;
high-density plasmas; plasma processing; molecular gases; chlorine;
机译:等离子体建模的原子和分子碰撞数据研讨会:半导体等离子体处理的数据库需求
机译:定制表面化学和等离子/表面相互作用对推进原子层蚀刻的挑战
机译:基于氯的等离子体中Si刻蚀过程中的三维原子尺度细胞模型和特征轮廓演变:轮廓异常和表面粗糙度分析
机译:氢气在氮化硅等等离子体增强原子层蚀刻的影响:分子动力学研究
机译:用于实验室和天体等离子体的氩II,氩III和氖I的原子数据生成和碰撞辐射建模
机译:连续暴露于分子氯和二酮的钴原子层蚀刻的分子机理
机译:高密度氯基等离子体中多晶硅栅刻蚀的原子尺度细胞模型和轮廓模拟:钝化层形成对特征轮廓演变的影响