ピコ秒レーザー超音波スペクトロスコピーによる高濃度B ドープダイヤモンドの弾性定数測定

摘要

：高濃度Ｂドープダイヤモンドは、トライボロプラズマによる劣化摩耗を防ぐ目的で機械加工用の工具材料として最近広く用いられており、また現在研究の進んでいる次世代パワーデバイス用の低抵抗基板としても極めて重要な材料である。B ドープにより抵抗率は、10~(14)Ωcm から10~(-3)Ωcm まで17 桁も激変するが、弾性的性質はよくわかっていない。今回ピコ秒レーザー超音波スペクトロスコピーによる計測を試み、絶縁ダイヤに対してどの程度の差があるか調査した。