モード操作光コムを用いたカスケードリンク型マルチ合成波長デジタル・ホログラフィの高速化（4）: 高精度形状計測

摘要

合成波長を用いたデジタルホログラフィ（DH）は、大きな段差形状物体を位相アンラッピングを行うことなく計測できる。しかしながら、位相ノイズを伴う場合、長い合成波長の利用は、高さ（奥行き）分解能を低下させる。この問題を解決するため、我々はモード操作光コムによるマルチ合成波長を用いたカスケードリンク型DH を提案している。前回の報告では、提案法で数10μm から10mm までの広い高さレンジで段差形状物体が計測可能であることを実証した。提案法はさらにカスケードリンクによる位相ノイズ低減で、原理上、数10nm の精度で形状計測できる。本報告では提案法で高精度形状計測が可能であるのか、原理確認実験を行ったので報告する。