力学高強度な複製モールドを目指した有機－無機ハイブリッド材料の開発

摘要

光ナノインプリント技術は高い生産性でナノ構造体を作製できることから、半導体や光学デバイスの製造手法として高い注目を集めている。電子線リソグラフィにより作製される原版モールドの使用が製造デバイスの高コスト化に繋がることから、高い紫外線透過性を有する高信頼性の複製樹脂モールドの作製が低コスト化に不可欠である。しかし、複製樹脂モールドは力学強度が合成石英に比べて著しく低いことから、連続成形時の寸法安定性の向上と長寿命化に向けて力学強度の向上が必要である。本研究では複製モールドの力学高強度化を目指し、光硬化性組成物にシリカナノ粒子を導入した有機－無機ハイブリッド材料を検討した。