酸素・ヘリウム中微量水分の一次標準の確立

摘要

半導体デバイスの製造工程では様々な種類の超高純度材料ガスが用いられている。ガス中に含まれる水は最も代表的な不純物の1つであり、物質量分率でµmol/mol (ppm)やnmol/mol (ppb)レベルの微量な水分であっても製品の性能に悪影響を与えるため、材料ガス中の水分を測定・管理するために多数の微量水分計が使用されている。信頼性の高い測定結果を得るためには、高性能な水分計を開発・選定し、その指示値を標準に基づいて定期的に校正・性能評価することが不可欠である。当研究室では2007年に窒素中微量水分の一次標準(10 ppb〜1 ppm)を確立した。市販されている微量水分計の性能を標準に基づいて評価したところ、多くの水分計の応答性や安定性に問題が見られた。