机译:硅微技术的一些最新进展及其对加工技术的依赖
机译:TaC_(12)H_(30)O_5N作为前驱体用于微系统批量生产的Ta_2O_5的金属有机低压化学气相沉积
机译:化学与生物科学纳米材料酶微系统的制备及应用的最新进展
机译:光学微系统结合微技术和批量加工制造的研究进展
机译:集成的CMOS传感器微系统,用于光学传感和处理。
机译:结合纳米球自组装与常规光刻技术的宽带金属平面微透镜及其阵列的批量制备
机译:利用TaC 12 sub> H 30 sub> O Ta 2 sub> O 5 sub>的金属有机低压化学气相沉积> 5 sub> N作为微系统批生产的前体
机译:用于制造亚半微米栅极长度mmIC芯片的组合电子束/光学光刻工艺步骤