パルス変調大気圧マイクロ波励起 He プラズマジェットの変調周波数に対する基礎特性の検討

摘要

近年，大気圧非熱平衡プラズマ(APP)を簡便な装置構成でrn発生させる様々な手法が提案されている。APP は低温環境rn下において化学反応性の高い活性種を生成できることかrnら、材料の表面処理や医療などの様々な分野において研究rnが進められている。APP 生成法の一つとして大気圧非熱平rn衡マイクロ波プラズマジェット(AMPJ: Atmospheric pressurernMicrowave Plasma Jet)がある。AMPJ により生成される活性rn種等を用いて、材料の表面処理等を行うことが可能である。rnAMPJ のパルス変調周波数に対する基礎特性をするため分rn光診断を行ったので報告する。