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【24h】

Effect of growth conditions on carbon film properties

机译:生长条件对碳膜性能的影响

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摘要

Diamond-like carbon films were grown on silicon and insulating substrates by PECVD technique using methane as a precursor and 10–50% nitrogen or diborane additives. XPS analysis showed increase of sp3 and decrease of sp2 bonded carbon atoms with both additives fraction increase. Sheet resistance also decreased.
机译:采用PECVD技术,使用甲烷作为前驱体和10-50%的氮或乙硼烷添加剂,在硅和绝缘基板上生长类金刚石碳膜。 XPS分析表明,随着两种添加剂分数的增加,sp3的增加和sp2键合碳原子的减少。薄层电阻也降低。

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