Centre or Nanoscience and Nanotechnology, Sathyabama University, Chennai-600 119, Indiac;
Coefficient of Friction; Hardness; Magnetron Sputtering; Microstructure;
机译:氮气流量对脉冲直流磁控溅射制备Zr-N薄膜的微观结构和纳米力学性能的影响
机译:衬底偏压对脉冲直流磁控溅射沉积TiAlSiN薄膜微结构演变和力学性能的影响
机译:沉积温度对脉冲直流磁控溅射制备的薄膜太阳能电池透明电极Al掺杂ZnO薄膜性能的影响
机译:脉冲DC磁控溅射制备的ZrANN薄膜的微观结构,纳米力学和摩擦学性质
机译:脉冲反应直流磁控溅射技术制备的高介电常数薄膜的沉积和表征。
机译:射频磁控溅射沉积BiFeO3薄膜的结构和纳米力学性能
机译:直流磁控溅射与大功率脉冲磁控溅射制备CrNx薄膜的比较研究