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Silicon multi-project wafer platforms for optoelectronic system integration

机译:用于光电系统集成的硅多项目晶圆平台

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摘要

We report on several multi-project wafer (MPW) platforms for optoelectronic systems, which support monolithic integration of modulators and detectors at 25 Gb/s or higher. We also describe the Luxtera platform, which includes CMOS integration.
机译:我们报告了几种用于光电系统的多项目晶圆(MPW)平台,这些平台支持25 Gb / s或更高速率的调制器和检测器的单片集成。我们还将介绍Luxtera平台,其中包括CMOS集成。

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