FBAR; accurate measurement; de-embedding; in-fixture; real-time;
机译:高通量体声波谐振器对Aln薄膜的声学表征
机译:使用带有C轴倾斜AlN薄膜的薄膜体声谐振器的液体传感器
机译:使用带有C轴倾斜AlN薄膜的薄膜体声谐振器的液体传感器
机译:ALN薄膜散装声谐振器的准确夹具测量方法
机译:AlN薄膜体声波谐振器的制作与表征。
机译:基于倾斜c轴AlN膜的剪切模式体声谐振器监测人体止血参数
机译:AlN薄膜体声波谐振器的制作与表征
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)