Triangle Transducer for Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) Simulation in ANSYS Finite Element Program

机译：ANSYS有限元程序中用于微机电系统（MEMS）仿真的三角传感器

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The paper introduces a new methodology with a distributed triangle transducer for the strongly coupled simulation of micro electro mechanical systems (MEMS) in ANSYS Finite Element (FE) program.

机译：本文介绍了一种采用分布式三角形换能器的新方法，用于在ANSYS有限元（FE）程序中对微机电系统（MEMS）进行强耦合仿真。

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来源
《2002 International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems, Apr 21-25, 2002, San Juan, Puerto Rico, USA》|2002年|p.380-383|共4页
会议地点 San Juan PR(US);San Juan PR(US)
作者
Miklos Gyimesi; Dale Ostergaard; Ilya Avdeev;
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作者单位

ANSYS, Inc. 275 Technology Dr., Canonsburg, PA 15317, USA;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类无线电电子学、电信技术;
关键词
micro electro mechanical systems; (MEMS) finite elements; transducer; reduced order modeling;

机译：微机电系统；（MEMS）有限元；传感器;降阶建模;

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