一种新型铜槽模型对电镀均匀性提升的研究

摘要

文章主要根据传统的电镀铜理论,建立了一个新型的镀铜槽模型,对阴极电流传输方式、阴极冷冻方式、夹具优化、阳极挡板调整、阴阳极之间的距离等方面进行优化,电流从整流机传输至飞巴顶部再均分至夹具的传输方式,电流分布尖端效应影响明显处进行挡板、打孔处理,优化了电力线的分布,达到了提高垂直电镀线电镀厚度均匀性目的;实验结果表明:整个飞巴的极差小于8.5μm,COV达到4.8％,效果显著.